分子束内涵设备厂家 分子束内涵设备 沈阳鹏程真空技巧

 
单价: 面议
地点地: 辽宁 沈阳市
有效期至: 经久有效
最后更新: 2020-02-14 14:18
信息编号: 23433314
 
公司根本材料信息
详细简介





MBE400 分子束内涵体系

MBE400 分子束内涵体系是一款通用型MBE体系,异常合适于III/V族, II/VI族,及其他复合半导体材料应用。兼容2-4英寸标准晶片。竖直瓜分式腔体设计,可以装配各类源炉,完成不合伙料分子束内涵发展。

该体系重要有蒸发堆积室、进样室、束源炉、样品磁力传递机构、样品库装配、样品加热机构、泵抽体系、真空丈量体系、气路体系、电控体系等构成。样品从进样室经过过程磁力传递机构,分子束内涵设备临盆厂家,把样品送到蒸发堆积室,停止蒸发堆积等镀膜实验。

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影响MBE分子束内涵的身分有哪些?

1、压力的影响

在10-3Pa真空度下,臂开的外面,分子束内涵设备厂家,在1秒钟时间内便可被残余气体的单原于层所覆盖,若在10-5~10-7Pa真绝后提下臂开而急速停止蒸镀,则内涵温度应当更进一步地降低,分子束内涵设备价格,但实险注解,并不是如此。如M和A,在高真空下停止内涵蒸镀与在超高真空下停止内涵蒸镀,其成果并没有若干差别。但是,cu、Ag、Au在超高真空下,使(001)面同基片相平行,则很难生成单晶膜,这解释对Cu、Ag、Au停止内涵蒸镀时,基片外面还须要停止恰当的污染。 

2、蒸发速度影响假设降低蒸发速度,分子束内涵设备,外廷温度Te也降低,以下图所示,在NaCl下面蒸镀内涵Au时,NaCl下面的平行方位的蒸铰速度降低,便可以在较低的基片温度下停止晶体内涵。

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影响MBE分子束内涵的身分有哪些?

1、内涵温度为了惹起内涵,基片的温度应达到某一温度值,即有须要加热到内涵温度以上,当温度低于内涵温度时则不克不及惹起内涵。并且内涵温度还与其他条件有关,不合条件下的内涵温度是不合的。

2、基片结晶的臂开在之前的惯例研究方面,基片结晶是在大年夜气下臂开(机械折断产生结晶面)而后放入真空装配中来制取内涵单晶膜。曾经研究了晶面一旦臂开就急速停止制膜的办法。由于这两种办法不合,其内涵温度也有所不合。基片结晶在真空下臂开而惹起的处延临界温度的不合值。

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